由于电机速度毕竟有限，而且扫描的平行光带不太容易保证，再加上平行光管与CCD的技术的发展，很多企业开始采用CCD成像法测量直径，在国内以上海欧勒在这方面做得较早，其光源采用波长较长的红外光，抗干扰较强，由于少了许多机械件，所以设备较稳定可靠，但CCD成像受相素的制约，在精度上不太容易拓展，特别是大直径的物体测量，但又不能太细，太细会有扫描外径仪相同的问题。

激光衍射外径仪

利用衍射原理测量细线的直径，这项技术在国内仅辉煌测控一家从德国引进，此技术与前两项刚好相反，只适用于测小直径的细丝，而且越细越好，因为此技术是利用衍射原理，理论只有当波长与被测物相近或大于被测长物时衍射最明显。明锐的的产品在测量5um到300um的细丝是没问题的，据说可以测量到500um。其精度由于限于标准样件和测试环境的影响，只有0.2um左右，但其重复性精度相当高，所以只要有标准样件和良好的测试环境，精度是可以再次大提高的，这也是细丝测径仪的一个发展方向。